激光行业-激光微型机应用案例

设备名称：激光微型机

行业应用：应用于贴片电感陶瓷、半导体微电子TSV、发动机喷油嘴等产品的钻孔工艺

使用环境：恒温车间

结构：XY十字叠加结构

方案特点：底座平台采用四根导轨组装形式，增加设备运行的稳定性；采用定制系列的直线电机推力大，稳定性高，拼接精度实现＜±3μm。