半导体行业-LDI曝光机精密大理石直线电机应用方案

设备名称：LDI曝光机

行业应用：线路板外层、柔性线路板等

使用环境：恒温车间

结构：大理石龙门

方案特点：采用无铁芯直线电机，最高可以实现运动轴千分之一的速度波动；运动控制提高整个装备的运动稳定性；使用激光干涉仪提供运动精度报告。